仪器信息网讯 8月29日，全国半导体设备和资料标准化技能委员会微光刻分技能委员会第四届微光刻分委会年会暨第十三届微光刻技能交流会在青岛成功举行。会议期间，仪器信息别采访了深圳清力技能有限公司试验渠道负责人、深圳超滑技能试验渠道主任潘旭捷。据介绍，深圳超滑技能试验渠道是由深圳市政府、深圳坪山区政府以及深圳清华大学研讨院一起支撑建立，总投资1.5亿，具有200余台半导体制备和表征设备。试验渠道一方面支撑结构超滑技能的研讨，另一方面也对外开放，现在现已具有了6英寸MEMS芯片流片才能，一起也支撑 MEMS器材、先进封装、微纳米光学、光电子、生物芯片等一系列些微纳米器材的工艺开发和打样，现在渠道合作伙伴有100余家，合作项目200余项。深圳超滑技能试验渠道研讨范畴是结构超滑技能，研讨掩盖根底物理机理、资料研讨、相关微纳米级加工和表征技能，和相关的使用及产业化。潘旭捷表明，当时结构超滑研讨的关键技能首要在于资料制备和器材制备，需求协同光刻、刻蚀等一系列微加工技能来一起完成。结构超滑技能是我国原创的一项根技能，凭借结构超滑技能有望助力各个资料或许设备厂商打破国外卡脖子问题。现在国内在结构超滑范畴取得了不少新的打破，包含大面积的资料制备，结构超滑器材的制备等，均处于世界抢先的阶段。深圳清力技能有限公司团队在结构超滑资料及器材制备的特征设备上做到自主研制，一起大部分通用微加工设备也归于国内彻底可控。关于科技前沿研制要使用到的部分设备例如电子束光刻体系等，仍处于国外卡脖子的状况，亟待国内厂商攻关打破。以下是现场采访视频：